陈志华 肖定邦 李圣怡 张卫平 吴校生 陈文元 苏伟 孙道恒 刘武 黄晓刚 李文望 侯占强 刘显学 吴学忠 万明亮 何淼

频率特性 电子技术 闭环检测 电容 隔离耦合 Sigma-Delta MEMS 虚拟仪器 电容检测 同步解调 静电悬浮 闭环驱动 转子 磁悬浮 微机电系统 振动传感器标定系统 机械耦合误差 测试系统 微细加工 悬浮效应