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深反应离子刻蚀DRIE) 阳极键合 微谐振器 二次梁理论 频率测量 三维微触觉力传感器 自适应光学 谐振 视觉传感器 表面改性 微变形镜 磨损 工艺 金属粉末注射成型MIM) 微加速度计 微观摩擦性能 微转子 微摩擦 排列方式 分形 磨损率 绝缘体上硅SOI) 微马达 动态表征 微米纳米技术 静电激励 悬臂梁 标定 虚拟仪器 误差补偿