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微悬臂梁图谱-机械领域：

研究人员

佘东生 褚家如 成功 陈子辰 郑义 张习文 孟汉柏 朱才朝

相关术语

微机械技术 瞬态温度 微机电系统 原子力显微镜 有限元分析 横向力 牺牲层释放 谐振器

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