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微电子机械系统图谱-机械领域：

研究人员

伍小平 巫正中 周承恩 樊康旗 王美龄 杜振辉 余同希 张立宪

相关术语

发展趋势 单晶硅 粘附 压阻效应 薄膜基底结构 建模与仿真 液体流动 体积流量

下位概念

残余应力

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