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微光机电系统图谱-机械领域：

研究人员

魏建霞 侯西云 恩德 郝群 张永康 白剑 杨国光 金珠

相关术语

自适应算法 吸合电压 平均效应 静电力结构耦合 残余应力自测量方法 光通信 微光学 光开关

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