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多晶硅薄膜图谱-机械领域：

研究人员

吴嘉丽 许高斌 谭刚 戚丽娜 黄庆安 李伟华 李仁锋 胡冬梅

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热导率 吸合 优化 时间常数 在线提取 低压化学气相淀积 热扩散系数 热应力

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