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绝缘工艺图谱-机械领域：

研究人员

王跃林 李昕欣 张鲲 焦继伟 车录锋 宋朝晖 程保罗 戈肖鸿

相关术语

微机电系统 侧壁扩散 体硅工艺 加速度传感器

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