电脑体验，效果更佳

绝缘体上硅SOI)图谱-机械领域：

研究人员

毛旭 龚超 李志宏 闫桂珍 邓凯 陈绍凤 杨振川 夏善红

相关术语

阳极键合 保护电极 微加速度计 微机电系统MEMS) 深反应离子刻蚀DRIE) 横向刻蚀

标签云