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动态特性 转动 宏运动 柔性铰链 控制策略 优化设计 点样机器人 直线运动 样品分配 微运动 驱动方式 实时检测 转矩自平衡 线切割 气浮导轨 注射模具 推板机构 工业控制计算机 广义预测控制 多模控制 光纤对准 误差补偿 定位准确度 柔性放大机构 定位方法 复合控制 压电电致伸缩驱动 运动控制器 建模 XY工作台