张弘弢 庞楠 马勇 卢平 张赐成 郑焕文 吴玉厚 李智 刘佐民 王军

研磨装置 行星球磨机 机械工程 晶面 摆动频率 动力学 陶瓷量块 单晶金刚石 研磨工艺 弹性板 自旋角 陶瓷球 晶向 研磨盘 研磨法 临界点 轴向进给