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电子束光刻图谱-机械领域：

研究人员

赵珉 朱效立 任黎明 柳龙华 熊瑛 黄新龙 谢常青 陈洁

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Calixarene 电子束抗蚀剂 X射线透射光栅 X射线光刻 X射线显微成像技术 工艺技术 纳米制造

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