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双向比例电磁铁 超磁致伸缩 动态特性 Halbach阵列 磁场 有限元 仿真与试验 电-气动伺服压力控制阀 流体传动与控制 喷嘴挡板伺服阀 超磁致伸缩材料 磁场分布 高频 差动控制 电液比例阀