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电视轴 光栅 平行度 校轴工装 光电匹配 电轴 干涉仪 激光轴 校准 激光直写系统 测量 轴系校准 标定 误差分析 刚性 圆柱度误差 刚度比 CCD 石英晶体 摄像系统 普通车床 后顶尖 光学 盲元 摩擦传动 分光计 光学透镜 斜轮 平衡原则 线列红外成像装置