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测量精度 表面粗糙度 结构形式 空间光学 薄膜 柔性支撑 注射压力 料筒温度 精密调整 测量方法 干涉法测量 压力机 精密测量 主动光学 拉伸工艺 氙孤灯 主动支撑 微动机构 光电自准直仪 激光损伤 阻尼最小二乘法 反射率 空间应用 像旋转器 碳化硅 促动器 摩托车 球差 有限元分析 优化设计