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图形转移图谱-机械领域：

研究人员

洪义麟 付绍军 徐向东 田杨超 沈连婠 刘刚 刘颖 李晓光

相关术语

HfO2薄膜 SU-8光刻胶 紫外深度光刻 离子束刻蚀 掩模 误差修正 刻蚀速率 表面质量

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