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体硅工艺图谱-机械领域：

研究人员

马立 张国雄 訾艳阳 焦继伟 王跃林 孙立宁 李玉和 戈肖鸿

相关术语

纳米级定位平台 侧壁扩散 加速度传感器 摩擦磨损 微机电器件 摩擦因数 深度反应离子刻蚀 谐振器

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