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薄膜质量 粗大柱状晶 CrN薄膜 工艺参数 X射线衍射 疲劳磨损 制备方法 界面结合强度 应力 摩擦学特性 Si3N4陶瓷刀具 空蚀磨损性能 不同介质 力学性能 空蚀磨损机理 弯曲磁过滤 细小柱状晶 摩擦学性能 摩擦磨损性能 钇 磁控溅射 滚刀 耐磨性 离子镀 滚动疲劳试验 沉积 PVD 低温 脉冲电弧离子镀 NiTi形状记忆合金