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损耗 显微硬度 X光电子能谱 类金刚石 电极 CC多层DLC膜 数学模型 磁过滤阴极真空弧源 脉冲真空弧源沉积 钛合金 耐磨性 纯水液压传动 摩擦磨损性能 基体温度 电火花加工 XRD FCVA 结合力 摩擦磨损 动态特性