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黄新龙图谱-机械领域：

相关人员

陈洁 熊瑛 李文杰 张合 刘刚 田扬超 吴志亮 朱继南

研究领域

MEMS 工艺 加速度触发开关 电子束光刻 UV-LIGA X射线显微成像技术 LIGA 牺牲层技术

所属机构

中国科学技术大学国家同步辐射实验室

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