陆德仁 王跃林 张波 李昕欣 郭久福 熊斌 韩建强

微纳结构 软件 微机电系统 悬臂梁 硬件 原子力显微镜 微悬臂梁 微悬臂梁探针 纳米摩擦特性 薄膜 碳氟聚合物 力学测试 横向力 标定

中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海爱建纳米科技发展有限公司