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马月英图谱-机械领域:
相关人员
曹健林
胡卫兵
刘毅楠
刘世界
董宁宁
范鲜红
李敏
李旭
研究领域
软X射线多层膜
计算机辅助装调
曲面基片
误差分析
激光等离子体光源
MoSi多层膜反射镜
极紫外投影光刻
极紫外光源
所属机构
中国科学院长春光学精密机械
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应...
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