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研究领域
微机械加速度计
接口电路
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加速度计
热敏传感器
多端口组件网络
设计平台
气泡型微致动器
行为匹配
微机械陀螺
主动流动控制
系统建模
温度补偿
器件级
微剪应力传感器阵列
MEMS概念设计
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准分子激光
时间常数
共同仿真
恒流驱动电路
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微电子机械系统
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剪应力传感器
微型工厂
功能分解
结构组件
驱动电路
工艺级
所属机构
西北工业大学现代制造工程研究所
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西北工业大学微机械与微细加工技术研究室
西北工业大学微纳米系统重点实验室
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