曹乐 郑德智 杨延涛 孟永钢 王淑荣 冯舟 温诗铸 吴昊 吴一辉 苏才钧 宣明

薄膜 静电梳状驱动器 微机电系统 测量误差 多晶硅 微机电器件 键合技术 拉曼谱 单晶硅 非接触法 输出力矩 摩擦因数 MEMS器件 平面微电机 微弱电容检测电路 峰值检测 疲劳 微电子机械系统 微电机 LIGA工艺 模态分析 体硅工艺 动态摩擦系数 摩擦磨损 片上测试 残余应力 一阶谐振频率

清华大学摩擦学国家重点实验室