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郇勇图谱-机械领域：

相关人员

张泰华 张大成 杨业敏 阮勇 王秀兰

研究领域

纳米压痕 摩擦性能 微电子机械系统 氮化钛薄膜 强度 微悬臂梁 显微硬度 纳米划痕

所属机构

北京100080中国科学院研究生院 北京大学微电子学系MEMS工艺研究室 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实...

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