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研究领域
模拟退火算法
相干光
Al滤片
掩模优化
改进的Canny算法
波前分割
部分相干光
紫外光刻
光谱定标
接近式光刻
三角面片
霍普金斯公式
移动立方体法
实体建模
高次谐波
正交实验法
紫外深度光刻
遗传算法
光谱计量
滤片
活化氧
复相干度
掩模
信噪比
高次谐波抑制
分辨本领
同步辐射
光束线
局部优化
SU-8光刻胶
所属机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
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