丘海能 褚风灵 严琼林 吴鑫 司马能 官文超 卢海参 方亮

化学机械抛光CMP) 平面化 CMP机理 化学修饰 硬盘基片 玻璃基片 纳米金刚石 磺化

华中理工大学化学系 上海电机学院机械学院 清华大学摩擦学国家重点实验室 上海大学纳米科学与技术研究中心