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陆德仁图谱-机械领域：

相关人员

鲍海飞 宗登刚 王钻开 李昕欣 王聪和 王跃林 熊斌

研究领域

灵敏度 氮化硅 频率 低压化学气相淀积 微桥 弹性模量 加速度传感器 微机电系统

所属机构

香港理工大学应用物理系 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感...

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