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制造 气体润滑 回转误差 抛光液 空气静压止推轴承 静态性能 遗传算法 PDE PID 小孔节流 动平衡 化学机械抛光 气悬浮 信号识别 数值计算 静态特性 立式动平衡 空气静压轴承 抛光速率 有限体积法 动平衡机 偏心 雷诺方程 球面轴承 最优解 静特性 径推联合轴承 气体轴承 承载力 气膜厚度

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