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阮勇图谱-机械领域：

相关人员

林惠旺 任天令 杨业敏 张大成 刘理天 郇勇 谢丹 张泰华

研究领域

强度 金属有机化合物化学气相沉积MOCVD) 铁电 微电子机械系统 键合 压电 微悬臂梁 锆钛酸铅PZT)

所属机构

北京100080中国科学院研究生院 北京大学微电子学系MEMS工艺研究室 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实...

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