刘玉涛 王富生 吕云飞 张大庆 张杰 刘俭 刘永猛 付海金 王宇航 杨文国 王雷 金占雷 张山 敖磊 刘冰峰 闫磊 康文静 金鹏 崔继文 程陶 张慧 陈吉红 邓春梅 郎治国 林茂六 胡鹏程 赵晨光 赵维谦 陈世丽 周军

表面微观轮廓 有限元法 位移 对接质量 集合平均技术 磁场 数字合成技术 Dill曝光模型 衬底 收敛 Zernike矩 模间噪声干扰 测量 电容测量 微位移驱动器 全自动测量 内尺度 两步法误差分离 信噪比 等效折射率模型 纳米 光纤端面定位 正交傅里叶-梅林矩 亚像素定位 磁-机械耦合 有限元分析 误差分离 混合滤波 电感传感器 衍射光斑

哈尔滨工业大学 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系 哈尔滨工业大学自动化测试与控制 广东美的信息技术公司 国家数控系统工程技术研究中心