雒建斌 吴燕玲 蒋建忠 郑林庆 刘家浚 吕彦明 刘新佳 王海彦 王永光

粒度分布 摩擦磨损 接触模型 弹塑性 协调效应 粗糙表面 芯片 化学机械抛光CMP) 非连续 微凸体 化学-机械协同效应 纺纱钢丝圈 化学机械抛光 氧化膜 模型 估算 材料去除机理 传质 磨损 数学模型 机械化学抛光CMP) 化学镀镍磷合金 单分子层 精抛 概率统计 摩擦磨损的模型化