闫宏伟 江洵 高旻 王玮 李志宏 李成垚

运动受力 履带行走机构 纳米针尖阵列 纳米颗粒单层膜 驱动 场发射效应 影响因素 反应离子刻蚀

北京大学微电子学研究院 微米纳米加工技术国家级重点实验室 纳米器件物理与化学教育部重点实验室