崔岩 孙宝元 崔玉国 宋志杨 杨志欣 高颖 朴柱宏

压电陶瓷管 执行器 状态观测器自感知执行器 非线性 压电陶瓷 电荷驱动 纳米定位 迟滞 控制方法 虚拟仪器 位移测量 涡流位移传感器 非线性校正 位移传感器 压电叠堆

鞍山师范学院 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 大连理工大学机械工程学院 大连理工大学电子与信息工程学院 辽宁鞍山 辽宁大连