温诗铸 王义民 TUNG S C 李维民 黄义 雒建斌 雷红 刘岩 金元生 邵天敏 王玉琮 杨文言 朱永华 戴媛静 肖宏清 刘珊 李生华 马亚军 徐进 袁治 王亮亮 张伟 刘宇宏 苏亚 孙家振 马俊杰 路新春 龚剑锋 何雨

去除率MRR) 膜厚 灰口铸铁 硬磁盘 聚苯乙烯颗粒PS) 玻璃盘基片 纳米摩擦学 表面形貌 硬盘基片 动电位极化扫描 离子镀 CrN 混合润滑 氨基乙酸 活塞环 MoN涂层 二相流 陶瓷硬质膜 化学机械抛光CMP) 颗粒浓度 薄膜润滑 单晶硅片 稳定性 纳米二氧化硅SiO2)胶体 润滑特性 表面粗糙度 摩擦学性能 材料去除率 渗氮活塞环 摩擦磨损性能

煤炭科学研究总院 清华大学摩擦学国家重点实验室