段广洪 武晨光 关立文 张华 张永忠 尹文生 贾松涛 杨开明 孟飚 潘尚峰 赵冶 徐登峰 张鸣 尤政 李恒 牛小铁 陈国邦 汪劲松 程嘉 聂洪玮 王春洪 梁林泉 董立立 刘长增 唐晓强 朱立伟 王立平 陈亚英 于晖 郭志平

各向同性 数字化 模态分析 精密XY运动平台 工件台 解耦控制 构型 概念设计 双边驱动 外融冰 超精密微动台 模态 闭环结构 超精密工作台 S形轨迹 参数变化系统 微振动 空气静压轴承 二维工作台 虚拟制造 电流变阻尼 创新设计 研究现状 雷诺公式 有限元法 闭环四杆结构 滑模控制 自标定 多目标优化 光刻机

清华大学精密仪器与机械学系 中国矿业大学机电工程学院 清华大学精密仪器与机械学系IC装备实验室 清华大学 呼和浩特 清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所 江苏　徐州 内蒙古工业大学