王占山 吴文娟 白亮 徐敬 王风丽 崔明启 周洪军 秦树基 蒋晖 孙丽娟 王晓强 黄秋实 王洪昌 霍同林 王蓓 陈玲燕 张众 赵屹东 徐垚 李存霞

X射线超反射镜 薄膜 极紫外光学 低原子序数材料 相移片 反射率测试 磁控溅射 掠入射角 同步辐射 本底真空度 宽波段 亚四分之一波长 多层膜 偏振光学元件 最小膜层厚度 极紫外 非周期多层膜 反射率 检偏器 高反射率 光学性能 X射线衍射仪

中国科技大学国家同步辐射实验室 同济大学物理系精密光学工程技术研究所