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方竞图谱-机械领域：

相关人员

王丛舜 沈健 张为斌 昌盛 崔云俊

研究领域

力电耦合 微电子机械系统 阈值电压 残余应力

所属机构

北京大学微电子学研究所 北京大学力学与工程科学系

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