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林欢庆图谱-机械领域：

相关人员

徐锋 吴小军 王鸿翔 钟磊 左敦稳 卢文壮

研究领域

热丝化学气相沉积 衬底温度 无急回特性 电子辅助化学气相沉积（EACVD）小型化系统 摆动衬底 小型化 CVD金刚石膜 温度场

所属机构

南京航空航天大学

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