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杨业敏图谱-机械领域：

相关人员

张泰华 孙庆平 王秀兰 阮勇 郇勇 赵亚溥 余同希 张大成

研究领域

微型材料 微机电系统 氮化钛薄膜 微悬臂梁 键合 纳米划痕 纳米压痕 强度

所属机构

香港九龙清水湾 香港科技大学机械工程系 北京100080中国科学院研究生院 北京大学微电子学系MEMS工艺研究室 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实...

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