于映 韩建强 马立 王家畴 张鲲 戈肖鸿 车录锋 孙立宁 杨衡 张波 郭久福 王跃林 宋朝晖 鲍敏杭 焦继伟 李铁 陈国南 荣伟彬 董健 林丽华 陈永 汪飞 杨光伟 郭南翔 顾磊 李明伟 陈立国 叶红军 程保罗 熊斌

微执行器 微操作 薄膜 面内侧面压阻 致动机理 称重控制器 8B10B 侧壁扩散 面内侧壁压阻 温敏效应 悬臂梁 柔性衬底 探卡 存储特性 微机电系统 侧面压阻 纳米级定位平台 冲击 碳氟聚合物 电感 聚酰亚胺 硅微机械加速度传感器 标定 力传感器 力学测试 物料包装 微传感器 微加工 AD7730 微机械陀螺

中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感... 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海爱建纳米科技发展有限公司 哈尔滨工业大学机器人研究所 上海大学机电工程与自动化学院 浙江大学信息与电子工程系 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实... 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感...