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渗铝层 纳米金刚石 表面形貌 复合电镀 金刚石膜 弧光放电 离子 等离子表面合金化 晶粒尺寸 冷阴极电弧源 表面粗糙度 晶面取向 辉光放电 显微硬度 金属间化合物 过渡层 摩擦磨损 真空退火 直流电弧等离子喷射化学气相沉积 自支撑金刚石膜 多层结构 二次形核 复合镀 均匀性 内应力 金刚石薄膜 复相薄膜 相组成 化学状态 纳米金刚石粉

北京科技大学材料科学与工程学院 北京科技大学 太原理工大学表面工程研究所