訾艳阳 张弘韬 王亮 王东生 廖小华 段瑞玲 李庆祥 陈张玮 杨再华 石志松 林浩山 彭海成 巩娟 祁鑫 李勇 童晓蕾 郭阳宽 郑静琳 段惠波 赵大鹏

有限元 扫描探针显微术SPM) 近场光存储 微弱信号 光电探测器 切削力 伺服转台 光学测量 飞高测试 微探针 图像平滑 数字信号处理 导向机构 图像处理 自动调焦 体硅工艺 形状记忆合金 气垫面 三维形貌 负压力 微装配 压电陶瓷 V形轨道 前级放大 共振频率 电感耦合等离子体 超精表面 MEMS 微工作台 高测量

大连理工大学机械系 清华大学 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及... 大连理工大学