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研究领域
平面镜
传动链
误差分离
二元光学元件
直线度测量
扭转刚度
卸荷系统
反射率
反向法
钢度
标定
检测
超精密加工
临界角法
复合机床
结构设计
非球曲面
轴系回转误差
非圆曲线插补
同步辐射
超精密机床
激光直写设备
所属机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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