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张山图谱-机械领域：

相关人员

王雷 金占雷 吕云飞 程陶 谭久彬

研究领域

激光直写 曝光量分布 Dill曝光模型 线条轮廓 邻近效应 激光直写光刻 对接质量 参数优化

所属机构

哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所

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