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加工精度 主轴振动 超精密平面研磨 装配、焊接 毛细管气相色谱法 杯状砂轮修整器 圆弧金刚石砂轮 砂轮磨损 轴对称非球面加工 二苯基二氯硅烷 非轴对称非球面 表面粗糙度 毛细管气相色谱 机器人 集成制造 精度 加工参数 砂轮振动 微粒金刚石研磨轮 甲基环己基二甲氧基硅烷 平面研磨 粗糙度 误差补偿

蚌埠医学院应用化学研究所 厦门大学物理与机电工程学院 蚌埠医学院应用化学所 日本东北大学