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运动学耦合误差 视觉反馈 AFM 复现扫描轨迹 触觉反馈 纳米操作 单目视觉 谓词不变性 虚拟力反馈 遥操作系统 遥操作 原子力显微镜（AFM） 管式扫描器 扫描图像 多孔铝薄膜 样本扫描模式原子力显微镜 运动学模型 交叉耦合误差 超媒体 图像重构 状态反馈控制 扫描范围误差 机器人化 三维纳米力 力觉反馈 扫描探针显微镜 探针模型 交互式纳米操作 驱动器驱动 悬臂变形

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