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姚劲松图谱-机械领域：

相关人员

王志勤 宣明 王一凡 梁静秋 王立鼎 贾智

研究领域

LIGA工艺 微电子机械系统 端面摇摆 LIGA技术 光刻 微电机 摇摆式 准分子激光 微电磁驱动器 直接刻蚀 电磁微电机 端面 电铸 电磁 微型电磁电机 掩膜 X射线掩模 微机械零件

所属机构

中国科学院长春光学精密机械研究所 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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