王贵林 夏广岚 赵志忠 王洪祥 李增强 李旦 董申 程凯 孙涛 张建国

现场动平衡 研磨工艺 有限元方法 金刚石车削 材料去除机理 碳化硅 最优研磨参数组合 刀具振动频谱 粘结-滑移 超精密切削 二次回归分析 分子动力学仿真 金刚石刀具 机械研磨 类金刚石碳 刃口半径 空气静压轴承 切削参数 单晶硅 各向异性 圆弧圆度 磨损机理

哈尔滨工业大学精密工程研究所