林栋 汪学方 曹惠 吕强 范细秋 罗小兵 宋晓辉 刘玮钦 张鸿海 艾叶 徐静平 刘胜 谢丹 严晗

等离子体 真空度检测 衍射效率 氮化镓纳米线 陀螺仪 双微观结构 金属有机物化学气相沉积 密封 真空电阻焊 真空封装 超疏水表面 陶瓷材料 介电电泳 朗缪尔流效应 微透镜阵列 黏滞系数 微波辅助加工 MEMS 热压印 纳米压印 荷花效应 碳纳米管 晶振 电阻焊

华中科技大学机械科学与工程学院 武汉光电国家实验室微光机电系统研究部 华中科技大学武汉光电国家实验室 华中科技大学电子科学与技术系