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牛康康图谱-机械领域：

相关人员

刘毅 李秋柱 丑修建 薛晨阳 刘君

研究领域

垂直扫描法 扫描白光干涉 GaAs台阶结构 三维形貌还原 微器件 包络线 透射反射干涉 零光程差

所属机构

中北大学电子测试技术国家重点实验室

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